實(shí)驗(yàn)室通常使用真空泵(Vacuum pump)來(lái)產(chǎn)生真空。由于從粗真空到極高真空壓力跨度高達(dá)十幾個(gè)數(shù)量級(jí)(Pa)，所以，實(shí)驗(yàn)上要求不同的真空度時(shí)需要選擇不同種類的真空泵。要獲得高真空或超高真空，一般需用幾種泵的聯(lián)合組合使用才能達(dá)到。
真空泵按獲得真空的機(jī)理和方式可分為壓縮型的真空泵和吸附型真空泵兩大類。壓縮型泵(Compression pump) ,是將氣體由特定容器壓縮，然后排放至容器外。如水沖泵、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、分子泵等。另一類是吸附型泵(Sorption pump) ,是依靠將特定空間的氣體分子吸附方式來(lái)降低壓力以獲得真空度。如鈦泵、低溫泵、吸附泵等。
機(jī)械泵和擴(kuò)散泵價(jià)格低廉、抽氣速率很高，是實(shí)驗(yàn)室最常用的真空泵，但它們都要用特種油作為工作物質(zhì)，因而對(duì)實(shí)驗(yàn)對(duì)象有一定的污染。機(jī)械泵只能產(chǎn)生1~10-1Pa的低真空。擴(kuò)散泵使用時(shí)必須用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，可獲得10-1~10-7Pa的高真空或超高真空。隔膜泵、吸附泵和鈦泵都屬于無(wú)油類型泵，不存在油蒸氣的沾污問題，它們串級(jí)使用可獲得優(yōu)于10-6Pa的超高真空。分子泵是靠?jī)?nèi)圓筒高速機(jī)械運(yùn)動(dòng)使氣體作定向流動(dòng)，一般須與前級(jí)泵組合來(lái)獲得高真空。低溫泵是目前抽速最大、能達(dá)到極高真空的真空泵。
